自动化激光加工工艺的很高定位精度容易激光加工工艺方式、材质、仪器已经检测方法等好几种缘由而有着其他。
最好的是磨细，光滑度，水平线度，厚度，不确定度都有大有小，厚度不确定度基层单位为纳米。光滑度能起到14，假设检验磨细的两个生物体的水平线，都行起到水平线期间未摩擦，擦水净搓搓都行偏移，普遍车床也就能起到789。车方机都不相应了，量块都是磨细的。
传统机械加工精度
在民俗的自动化设备工艺中，如切削、铣削和轴类，精确基本是可以 提升纳米极别。假如，精密模具轴类工艺，的表面粗糟度是可以 提升 Ra0.025 - 0.1μm 管理，尺寸大小精确是可以管理在 ±1 - 5μm 间。在这种精确质量是可以 满意非常多企业教育领域的的要求，如通常自动化设备加工制作业、小轿车零部分加工制作业等。
相对 一系列的要求较高的精密制造机诫机诫处理，如石英表造成中的一系列小激光加工零件加工，凭借精密制造机诫机床和外圆磨床处理，可靠性强，精密度能否到 ±0.001mm 的样子，这款可靠性强，精密度就可以可以保障石英表机心等激光加工零件加工的高可靠性强，精密度使用。
超精密机械加工精度
伴随着技能的的发展，超五金机械生产工作技能冒出。举例，金刚石车削工作技能可不是可以将精准度增强到nm职位。在电子光电技术眼镜眼眼镜镜片生产工作的领域，合理利用单点金刚石切销技能，就是可以生产工作出外壁粗糟度到 Ra0.005 - 0.01μm 的眼镜眼眼镜镜片，宽度精准度可不是可以操控在 ±0.1 - 0.5μm 作用，这么多高精准度的电子光电技术眼镜眼眼镜镜片范围广使用于中档电子光电技术仪器主设备、光刻机等主设备中。
阴正化合物束制作生产制做生产工艺是另外一只种超精密开发制作生产制做生产工艺方式方法，它实现阴正化合物束轰击轴类零件界面来清掉村料。此类制作生产制做生产工艺方式方法还能够到达很好的可靠性强，精密度，界面低质度也能够到达纳米级级，有此光电器件开发中，阴正化合物束制作生产制做生产工艺还能够准确度地对一体化ic来微纳结构特征的制作生产制做生产工艺，长度可靠性强，精密度还能够到达 ±0.01 - 0.1μm 前后，在开发高特性的一体化电源线路一体化ic等做到关键点目的。
未来高精度加工的可能方向
现，发生变化量子方法等科技开发尖端技术性开发的发展进步，数专家们就在不断探索电子层极别的处理高精确度。量子处理方法有也许 保证 以电子层为企业的村料出掉或增加，高精确度也许 提高皮米（10⁻¹² 米）因此更小的极别。只是，这现还正处在理论知识和实验性室研发的系统化阶段中，，还未大总量运用于现实情况的机械设备制造处理领域。
便是，物理生产制作的最低高精准度在一个劲壮大和提升，从2um级到纳米级级，未来的还要会向电子层级高精准度迈开。
